電子萬級潔凈室廠房的有什么特點
電子萬級潔凈室廠房的有什么特點,它的特性是:潔凈室等級標準高,排風(fēng)量、溫濕度、壓差、專用設(shè)備排風(fēng)系統(tǒng)按需可控,光照度、潔凈室的風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范可控,還有此類潔凈室對靜電標準要求嚴格。尤其對濕度的標準尤為嚴格。假設(shè)廠房過于干燥則易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
電子萬級潔凈室廠房
通常情況下,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊凈化車間有相應(yīng)溫濕度規(guī)定)。這時候可有效地消除靜電,并使人覺得舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的標準極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規(guī)定。
電子萬級潔凈室廠房內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
電子萬級潔凈室廠房垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
電子萬級潔凈室廠房與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
電子萬級潔凈室廠房內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
電子萬級潔凈室廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護,寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。無塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項最大值:
1、保證電子制造廠無塵室空氣潔凈室等級的送風(fēng)量;
2、根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;
3、向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量;
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